納米深度3D形狀顯微檢測儀具有的測量能力，可在幾秒內就完成整個視場的掃描，得到測量樣品的3D圓形與高度數據，檢測速度與深度量測能力優于逐點逐面掃描的共焦掃描顯微鏡，3D圓形量測能力又優于掃描式電子顯微鏡的2D平面檢測能力，且不需要使用電子束或鐳射，關機快又安全，維護成本更低。無論是拋光面，還是粗糙面，甚至是高透明材質（例如石英），只要有超過1%以上的反射率就能夠被檢測。適合各種材料與微元件表面特征和微尺寸檢測。檢測儀不需要復雜光路調整程序，即可在非接觸、無破壞、普通大氣環境下完成3D納米深度的表面檢測分析，不僅提供3D表面形狀和表面紋理的分析，更可提供鏡面表面的納米級粗糙度和臺階高度分析。