3D形狀顯微檢測儀具有的測量能力，可在幾秒內就完成整個視場的掃描，得到測量樣品的3D圓形與高度數據，檢測速度與深度量測能力優于逐點逐面掃描的共焦掃描顯微鏡，3D圓形量測能力又優于掃描式電子顯微鏡的2D平面檢測能力，且不需要使用電子束或鐳射，關機快又安全，維護成本更低。無論是拋光面，還是粗糙面，甚至是高透明材質（例如石英），只要有超過1%以上的反射率就能夠被檢測，適合各種材料與微元件表面特征和微尺寸檢測。

應用領域包含：

1、觸控面板(Touch Panel)

2、太陽能板(Solar Cell)

3、晶圓(Silicon Wafer or Sapphire Wafer)

4、光碟/硬碟(DVD Disk/Hard Disk)

5、微機電元件(MEMS Components)

6、平面液晶顯示器(LCD)

7、高密度線路印刷電路板(HDI PCB)

8、IC封裝(IC Package)

9、精密微機械元件或模具(Micro Mechanical Parts or Mode)

10、以及其它材料分析與元件微表面研究